モハメッド シュルズ　ミヤ

研究内容

（次世代）半導体薄膜•機能性電子材料薄膜の 作製及び評価技術の開発

材料に支えられています。より高速で機能性に富む新規な半溢体材料開発やその評価方法が求められています。本研究室では、次世代機能性半濤体材料として期待が高い酸化タングステン(W03)、二酸化バナジウム(V02)などの酸
化物薄膜の作製と評価技術の研究開発を行っています。