SEM・XRD等、主に無機系の分析設備のご紹介です。
高度物性評価施設
| メーカー・型番 | 名称 | 用途 | 写真 | |
|---|---|---|---|---|
| FE-TEM EDX | HITACHI HF-2200TU | 透過型電子顕微鏡 Transmission Microscope | 微細組織の形態観察結晶構造解析 組成分析 |  |
| ＦＩＢ | HITACHI FB-2000A | 集束イオンビーム加工観察装置 Focused Ion Beam System | ミクロンオーダーの加工 |  |
| ＥＳＣＡ（ＸＰＳ） | PHI ULVAC-PHI QuanteraⅡ | 走査型Ｘ線光電子分光分析装置 Scanning X-ray Photoelectron Spectroscopy | 表面分析 化学結合状態分析 |  |
| ＴＯＦ－ＳＩＭＳ | ION TOF TOF-SIMS Ⅳ | 時間飛行型２次イオン質量分析装置 Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer | 最表面分析 |  |
| ＴＦ－ＸＲＤ（MRD） | PHILIPS X' Pert-MRD | 薄膜材料結晶解析Ｘ線回折装置 Material Research Diffraction System | 薄膜結晶構造解析 |  |
| XRD-D8 | BRUKER D8 DISCOVER-TKU | 粉末Ｘ線回折装置 X-ray Diffraction | 結晶構造解析 |  |
| SC-XRD | Rigaku XtaLAB | 単結晶X線回折装置 Single Crystal X-ray Diffraction | 単結晶構造解析 |  |
| ＳＰＭ-9700 | SHIMADZU SPM -9700 | 走査型プローブ顕微鏡 Scanning Probe Microscope | 表面形態観察 |  |
| Dektak | BRUKER DektakXT | 触針式表面形状測定器 | 膜厚（段差）計測 |  |
| ＸＲＦ | HORIBA XGT-2700 | エネルギー分散型-蛍光Ｘ線分析装置 Energy Disputative X-Ray Fluorescence Spectrometer | 組成分析 |  |
| ＸＲＦ(EA1000AⅢ) | HITACHI EA1000AⅢ | エネルギー分散型-蛍光Ｘ線分析装置 Energy Disputative X-Ray Fluorescence Spectrometer | 組成分析 |  |
| ＩＣＰ | HITACHI PS3520 UVDDⅡ | 誘導結合プラズマ発光分光分析装置 Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometer | 元素分析 |  |
| ＥＰＭＡ | SHIMADZU EPMA-8050G | 電子線マイクロアナライザ Electron Probe Microanalyzer | 微小領域元素分析 |  |
| ＦＥ－ＳＥＭ EDX | HITACHI S-4800 TYPEⅠ | 走査型電子顕微鏡 Scanning Electron Microscope | 表面形態観察 組成分析 |  |
| ＦＥ－ＳＥＭ EBSD EDX | JEOL JSM-7100F | 走査型電子顕微鏡 結晶方位解析装置 Electron BackScatter Diffraction | 表面形態観察 結晶方位解析 |  |
| CP | JEOL 1B-19500CP | クロスセッション ポリッシャ （断面試料作製装置） Cross section polisher | 断面加工 |  |
| ラマン | HORIBA XploRA | ラマン顕微鏡 RAMAN microscope | 構造決定 |  |
| 試料調整装置 | 蒸着装置 SANYU ERECTRON SC-701 QUICK COATER ULVAC VC-100 CARBON COATER | 蒸着装置 | サンプルのコーティング、各種試料調整 |  |