分析設備紹介(1)

SEM・XRD等、主に無機系の分析設備のご紹介です。

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高度物性評価施設

  名称 用途 写真
FE-TEM
EDX
透過型電子顕微鏡
Transmission Microscope
微細組織の形態観察結晶構造解析
組成分析
FIB 集束イオンビーム加工観察装置
Focused Ion Beam System
ミクロンオーダーの加工
ESCA (XPS) 走査型X線光電子分光分析装置
Scanning X-ray Photoelectron Spectroscopy
表面分析
化学結合状態分析
TOF-SIMS 時間飛行型2次イオン質量分析装置
Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer
最表面分析
TF-XRD (MRD) 薄膜材料結晶解析X線回折装置
Material Research Diffraction System
薄膜結晶構造解析
XRD-D8 粉末X線回折装置
X-ray Diffraction
結晶構造解析
SC-XRD 単結晶X線回折装置
Single Crystal X-ray Diffraction
単結晶構造解析
SPM (AFM) 走査型プローブ顕微鏡
Scanning Probe Microscope
表面形態観察
SPM-9700 走査型プローブ顕微鏡
Scanning Probe Microscope
表面形態観察
Dektak 触針式表面形状測定器 膜厚(段差)計測
XRF エネルギー分散型-蛍光X線分析装置
Energy Disputative X-Ray Fluorescence Spectrometer
組成分析
ICP 誘導結合プラズマ発光分光分析装置
Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometer
元素分析
EPMA 電子線マイクロアナライザ
Electron Probe Microanalyzer
微小領域元素分析
FE-SEM
EDX
走査型電子顕微鏡
Scanning Electron Microscope
表面形態観察
組成分析
CP 断面試料作製装置
Cross section polisher
断面加工
試料調整装置 高速カッター、 中速カッター、 ダイシングソウ、 自動研磨機、電解研磨装置、 蒸着装置、 金属顕微鏡、 樹脂埋込み装置 他 各種試料調整

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