分析設備紹介(1) SEM・XRD等、主に無機系の分析設備のご紹介です。 ※ 画像クリックで拡大表示されます。 高度物性評価施設 名称用途写真 FE-TEM EDX透過型電子顕微鏡 Transmission Microscope微細組織の形態観察結晶構造解析 組成分析 FIB集束イオンビーム加工観察装置 Focused Ion Beam Systemミクロンオーダーの加工 ESCA (XPS) 走査型X線光電子分光分析装置 Scanning X-ray Photoelectron Spectroscopy表面分析 化学結合状態分析 TOF-SIMS時間飛行型2次イオン質量分析装置 Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer最表面分析 TF-XRD (MRD)薄膜材料結晶解析X線回折装置 Material Research Diffraction System薄膜結晶構造解析 XRD-D8粉末X線回折装置 X-ray Diffraction結晶構造解析 SC-XRD単結晶X線回折装置 Single Crystal X-ray Diffraction単結晶構造解析 SPM (AFM)走査型プローブ顕微鏡 Scanning Probe Microscope表面形態観察 SPM-9700走査型プローブ顕微鏡 Scanning Probe Microscope表面形態観察 Dektak触針式表面形状測定器膜厚(段差)計測 XRFエネルギー分散型-蛍光X線分析装置 Energy Disputative X-Ray Fluorescence Spectrometer組成分析 ICP誘導結合プラズマ発光分光分析装置 Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometer元素分析 EPMA電子線マイクロアナライザ Electron Probe Microanalyzer微小領域元素分析 FE-SEM EDX走査型電子顕微鏡 Scanning Electron Microscope表面形態観察 組成分析 CP断面試料作製装置 Cross section polisher断面加工 試料調整装置高速カッター、 中速カッター、 ダイシングソウ、 自動研磨機、電解研磨装置、 蒸着装置、 金属顕微鏡、 樹脂埋込み装置 他各種試料調整