SEM・XRD等、主に無機系の分析設備のご紹介です。
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高度物性評価施設
| 名称 | 用途 | 写真 | |
|---|---|---|---|
| FE-TEM EDX | 透過型電子顕微鏡 Transmission Microscope | 微細組織の形態観察結晶構造解析 組成分析 |  |
| FIB | 集束イオンビーム加工観察装置 Focused Ion Beam System | ミクロンオーダーの加工 |  |
| ESCA (XPS) | 走査型Ｘ線光電子分光分析装置 Scanning X-ray Photoelectron Spectroscopy | 表面分析 化学結合状態分析 |  |
| TOF-SIMS | 時間飛行型２次イオン質量分析装置 Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer | 最表面分析 |  |
| TF-XRD (MRD) | 薄膜材料結晶解析Ｘ線回折装置 Material Research Diffraction System | 薄膜結晶構造解析 |  |
| XRD-D8 | 粉末Ｘ線回折装置 X-ray Diffraction | 結晶構造解析 |  |
| SC-XRD | 単結晶Ｘ線回折装置 Single Crystal X-ray Diffraction | 単結晶構造解析 |  |
| SPM (AFM) | 走査型プローブ顕微鏡 Scanning Probe Microscope | 表面形態観察 |  |
| SPM-9700 | 走査型プローブ顕微鏡 Scanning Probe Microscope | 表面形態観察 |  |
| Dektak | 触針式表面形状測定器 | 膜厚（段差）計測 |  |
| XRF | エネルギー分散型-蛍光Ｘ線分析装置 Energy Disputative X-Ray Fluorescence Spectrometer | 組成分析 |  |
| ICP | 誘導結合プラズマ発光分光分析装置 Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometer | 元素分析 |  |
| EPMA | 電子線マイクロアナライザ Electron Probe Microanalyzer | 微小領域元素分析 |  |
| FE-SEM EDX | 走査型電子顕微鏡 Scanning Electron Microscope | 表面形態観察 組成分析 |  |
| CP | 断面試料作製装置 Cross section polisher | 断面加工 |  |
| 試料調整装置 | 高速カッター、 中速カッター、 ダイシングソウ、 自動研磨機、電解研磨装置、 蒸着装置、 金属顕微鏡、 樹脂埋込み装置 他 | 各種試料調整 |  |